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摘要：本申请提供一种压电谐振器的制备方法，其包括：提供硅衬底；去除部分硅衬底以形成凹槽；将绝缘体上硅基底与所述硅衬底设置有凹槽的一面键合，以形成空腔，其中，绝缘体上硅基底包括层叠设置的第一绝缘层、硅层以及第二绝缘层，绝缘体上硅基底具有锚点区以及主体区，空腔与主体区正对设置，第一绝缘层以及第二绝缘层的声阻抗与硅层的声阻抗不同；在绝缘体上硅基底上形成驱动功能层；选择性地去除绝缘体上硅基底，以在主体区形成谐振主体，在锚点区配合硅衬底形成用于固定谐振主体的锚固件，以提高压电谐振器的性能。
主权项：1.一种压电谐振器的制备方法，其特征在于，包括：提供硅衬底；去除部分所述硅衬底以形成凹槽；将绝缘体上硅基底与所述硅衬底设置有所述凹槽的一面键合，以形成空腔，其中，所述绝缘体上硅基底包括层叠设置的第一绝缘层、硅层以及第二绝缘层，所述绝缘体上硅基底具有锚点区以及主体区，所述空腔与所述主体区正对设置，所述第一绝缘层以及所述第二绝缘层的声阻抗与所述硅层的声阻抗不同；在所述绝缘体上硅基底上形成驱动功能层；选择性地去除所述绝缘体上硅基底，以在所述主体区形成谐振主体，在所述锚点区配合所述硅衬底形成用于固定所述谐振主体的锚固件。
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百度查询： 麦斯塔微电子(深圳)有限公司 压电谐振器及其制备方法
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