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摘要：本发明提供一种涂布电浆源的电浆通道的方法，其包含：提供其中具有一或多种螯合剂的至少一种电解质；处理至少一个表面以产生经处理表面；用至少一种后处理技术使该经处理表面的表面平滑以产生至少一个经平滑处理表面；及清洁该平滑表面。
主权项：1.一种涂布电浆源的电浆通道的方法，其包含：提供其中具有一或多种螯合剂的至少一种电解质；处理该电浆通道的至少一个表面以产生经处理表面；用至少一种后处理技术使该经处理表面的表面平滑以产生至少一个经平滑处理表面；及清洁该平滑表面。
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百度查询： MKS仪器公司 用于远端电浆源应用的涂层及其制造方法
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