龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
摘要：本发明涉及一种用于减少由极紫外光曝光光源所限定的包括聚羟基苯乙烯polyhydroxystyrene的光致抗蚀剂图案的坍塌的工艺液体组合物及利用其的图案形成方法，其中，所述工艺液体组合物包括：0.0001至1重量％的HLB值为9至16的非离子表面活性剂；0.0001至1重量％的选自由四乙基氢氧化铵、四丙基氢氧化铵、四丁基氢氧化铵或其混合物所组成的组中的碱性物质；及98至99.9998重量％的水。本发明具有减少由极紫外光曝光光源所限定的包括聚羟基苯乙烯的光致抗蚀剂图案的坍塌的效果。
主权项：1.一种洗涤用工艺液体组合物，用于减少由极紫外光曝光光源所限定的包括聚羟基苯乙烯的光致抗蚀剂图案的坍塌，其特征在于，所述工艺液体组合物由：0.0001至1重量%的HLB值为9至13的非离子表面活性剂，所述非离子表面活性剂为聚氧乙烯烷基醚；0.0001至1重量%的碱性物质，所述碱性物质为四丁基氢氧化铵；及98至99.9998重量%的水组成。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 荣昌化学制品株式会社 极紫外光刻用工艺液体组合物及使用其的图案形成方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号