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摘要:本发明提供恒温液体提供装置,其能够容易地实施加热器的追加。恒温液体提供装置将来自液体提供源的液体调整为恒温并向加工装置提供,该恒温液体提供装置包含:入口,其使来自液体提供源的液体流入;出口,其使液体8向加工装置流出;连通路,其将入口与出口连通;以及加温单元,其配设于连通路10中,对液体进行加温而调整温度。加温单元具有对液体进行加温的第一加热器以及具有能够装拆自如地内置第一加热器以及增设的第二加热器的空间的加热器外壳,在仅通过第一加热器对液体进行加温的能力不足时,能够容易地在加热器外壳的空间中增设第二加热器。
主权项:1.一种恒温液体提供装置,其将来自液体提供源的液体调整为恒温而向加工装置提供,其中,该恒温液体提供装置具有:入口,其使来自该液体提供源的液体流入;出口,其使该液体向该加工装置流出;连通路,其将该入口与该出口连通;以及加温单元,其配设于该连通路中,对该液体进行加温而调整温度,该加温单元包含:第一加热器,其对该液体进行加温;以及加热器外壳,其具有能够装拆自如地内置该第一加热器以及增设的第二加热器的空间,在仅利用该第一加热器对该液体进行加温的能力不足时,能够容易地在该加热器外壳的该空间中增设该第二加热器。
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