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摘要：本发明提供了一种载物台组件及激光热处理装置，该载物台组件包括一个用于固定工件的载物台，且载物台内嵌设有用于将载物台上的工件加热至设定温度的加热组件。还包括包裹在载物台外围及载物台背离工件一侧的保温隔热层、以及设置在保温隔热层外围及保温隔热层背离载物台一侧的冷却降温模组。通过在载物台内嵌设有加热组件，将载物台上的工件加热至设定温度，使晶圆的整体温度与晶圆的退火温度之间的差值较小，激光光束聚焦在晶圆上的时间可以缩短，提高激光退火的效率。通过设置保温隔热层，提高加热效率，方便保持载物台上的工件载设定温度。通过设置冷却降温模组，降低载物台组件的热影响区域，使工件维持在温差波动较小的设定温度状态。
主权项：1.一种载物台组件，应用于激光热处理装置中，其特征在于，包括：用于固定工件的载物台，且所述载物台内嵌设有用于将所述载物台上的工件加热至设定温度的加热组件；包裹在所述载物台外围及载物台背离所述工件一侧的保温隔热层；设置在所述保温隔热层外围及保温隔热层背离所述载物台一侧的冷却降温模组；其中，所述保温隔热层包括包裹所述载物台外围及所述载物台背离所述工件一侧的第一壳体、以及填充在所述第一壳体内的保温材料。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京中科镭特电子有限公司 一种载物台组件及激光热处理装置
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