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摘要：本发明提供一种热处理设备，包括：腔体，所述腔体内具有一工作区域；边缘环，所述边缘环围绕所述工作区域设置，所述边缘环用于提供磁悬浮力以驱动所述工作区域内的晶圆旋转；位置检测单元，所述位置检测单元用于检测所述晶圆的位置，并在检测到所述晶圆的位置偏离设定位置时发出报警信号；以及，防撞单元，所述防撞单元可伸缩地设置于所述边缘环，并在接收到所述报警信号时伸出所述边缘环外，以限制所述晶圆的位置。采用本发明提供的所述热处理设备对晶圆进行加工的过程中，在利用位置检测单元监测到晶圆脱离工作区域时，防撞单元伸出边缘环外阻挡晶圆与腔体内壁发生碰撞，从而可以避免晶圆与腔体内壁发生碰撞而损伤。
主权项：1.一种热处理设备，其特征在于，包括：腔体，所述腔体内具有一工作区域；边缘环，所述边缘环围绕所述工作区域设置，所述边缘环用于提供磁悬浮力以驱动所述工作区域内的晶圆旋转；位置检测单元，所述位置检测单元用于检测所述晶圆的位置，并在检测到所述晶圆的位置偏离设定位置时发出报警信号；以及，防撞单元，所述防撞单元可伸缩地设置于所述边缘环，在接收到来自所述位置检测单元的所述报警信号时伸出所述边缘环外，以限制所述晶圆向所述工作区域外移动，所述防撞单元包括多个防撞柱，多个所述防撞柱围绕所述边缘环的轴线依次分布，各所述防撞柱包括多个沿自身高度方向布置的多个第一弹性结构，各所述第一弹性结构能够沿所述防撞柱的横向发生弹性形变，各所述防撞柱内填充有高温膨胀介质气体，所述防撞柱在伸出所述边缘环外后，所述高温膨胀介质气体于所述防撞柱内膨胀。
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百度查询： 杭州积海半导体有限公司 一种热处理设备
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