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摘要：本实用新型公开的属于检测技术领域，具体为一种用于检测硅片位置的检测装置，包括用于对硅片的位置进行拍摄的摄像头，还包括：用于带动摄像头进行多方位移动的移动组件，且移动组件上安装摄像头，用于对硅片上的杂质进行清理的清理组件，且清理组件设在移动组件上，所述移动组件包括：固定板，所述箱体固定安装在固定板的顶部上，所述伺服电机固定安装在箱体的内壁上，本实用新型通过设置清理组件，具有能够实现对硅片上的杂质进行清理的作用，通过对硅片上的杂质进行清理，不仅能够增加检测装置的功能，提高实用性，还能够实现在对硅片位置检测的同时，还能够对硅片进行清理，在一定程度上提高了对硅片的加工效率。
主权项：1.一种用于检测硅片位置的检测装置，包括用于对硅片的位置进行拍摄的摄像头10，其特征在于，还包括：用于带动摄像头10进行多方位移动的移动组件，且移动组件上安装摄像头10；用于对硅片上的杂质进行清理的清理组件，且清理组件设在移动组件上。
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百度查询： 苏州世点领自动化科技有限公司 一种用于检测硅片位置的检测装置
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