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摘要：一种用于硅片残片吸附的万向吸附装置，包括万向活动杆、与万向活动杆连接的吸附部件、控制吸附部件的吸附和释放的动力控制部件，其中，万向活动杆包括握把、与握把连接的活动杆一、通过夹紧轴与活动杆一连接的活动杆二，活动杆一与活动杆二之间的夹角可调；吸附部件包括气腔、以及设置在气腔上的真空快插接头、排水孔、压缩空气快插接头；动力控制部件包括压缩空气气源、三位五通阀，节流阀、真空发生器套组，压缩空气气源连接三位五通阀的进气孔，节流阀、真空发生器套组连接三位五通阀的出气孔；从节流阀延伸出的气管连接压缩空气快插接头，从真空发生器套组延伸出的气管连接真空快插接头。本发明能够实现硅片残片的快速且无吸附死角的吸附。

主权项：1.一种用于硅片残片吸附的万向吸附装置，其特征在于：包括万向活动杆、与万向活动杆连接的吸附部件、控制吸附部件的吸附和释放的动力控制部件，其中，所述万向活动杆包括握把（103）、与握把（103）连接的活动杆一（104）、通过夹紧轴（108）与活动杆一（104）连接的活动杆二（106），活动杆一（104）与活动杆二（106）之间的夹角可调；所述活动杆一（104）沿其轴向贯通且一端呈球形空腔，另一端为贯穿孔；顶杆一（105）安装在活动杆一（104）内部；所述活动杆二（106）沿其轴向贯通且一端呈球形空腔，另一端为贯穿孔，顶杆二（107）安装在活动杆二（106）内部；所述顶杆一（105）、顶杆二（107）的一端为锥形凸面结构，另一端为锥形凹面结构；所述夹紧轴（108）的两端呈锥形斜面，中间为贯穿孔，所述夹紧轴（108）的两端分别设置梅花旋钮（109），两梅花旋钮（109）通过长螺栓连接，该两个梅花旋钮（109）的端部分别呈锥形斜面，当两个梅花旋钮（109）旋紧时，梅花旋钮（109）的锥形斜面与夹紧轴（108）的锥形斜面距离减小，进而使得顶杆一（105）、顶杆二（107）的锥形凸面与夹紧轴（108）的锥形斜面、梅花旋钮109）的锥形斜面相接触，实现活动杆一（104）与活动杆二（106）锁紧；所述吸附部件包括气腔（201）及设置于气腔（201）的真空快插接头（202）、排水孔（203）、压缩空气快插接头（204）、真空吸盘（205）；所述动力控制部件包括压缩空气气源（301）、三位五通阀（302），节流阀（303）、真空发生器套组（304），所述压缩空气气源（301）连接三位五通阀（302）的进气孔，节流阀（303）、真空发生器套组（304）连接三位五通阀（302）的出气孔；从节流阀（303）延伸出的气管连接压缩空气快插接头（204），从真空发生器套组（304）延伸出的气管连接真空快插接头（202）。

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