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申请/专利权人：山东有研艾斯半导体材料有限公司
摘要：一种用于硅片残片吸附的万向吸附装置，包括万向活动杆、与万向活动杆连接的吸附部件、控制吸附部件的吸附和释放的动力控制部件，其中，万向活动杆包括握把、与握把连接的活动杆一、通过夹紧轴与活动杆一连接的活动杆二，活动杆一与活动杆二之间的夹角可调；吸附部件包括气腔、以及设置在气腔上的真空快插接头、排水孔、压缩空气快插接头；动力控制部件包括压缩空气气源、三位五通阀，节流阀、真空发生器套组，压缩空气气源连接三位五通阀的进气孔，节流阀、真空发生器套组连接三位五通阀的出气孔；从节流阀延伸出的气管连接压缩空气快插接头，从真空发生器套组延伸出的气管连接真空快插接头。本发明能够实现硅片残片的快速且无吸附死角的吸附。
主权项：1.一种用于硅片残片吸附的万向吸附装置，其特征在于：包括万向活动杆、与万向活动杆连接的吸附部件、控制吸附部件的吸附和释放的动力控制部件，其中，所述万向活动杆包括握把103、与握把103连接的活动杆一104、通过夹紧轴108与活动杆一104连接的活动杆二106，活动杆一104与活动杆二106之间的夹角可调；所述吸附部件包括气腔201及设置于气腔201的真空快插接头202、排水孔203、压缩空气快插接头204、真空吸盘205；所述动力控制部件包括压缩空气气源301、三位五通阀302，节流阀303、真空发生器套组304，所述压缩空气气源301连接三位五通阀302的进气孔，节流阀303、真空发生器套组304连接三位五通阀302的出气孔；从节流阀303延伸出的气管连接压缩空气快插接头204，从真空发生器套组304延伸出的气管连接真空快插接头202。
全文数据：
权利要求：
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