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摘要：本申请实施例提供了一种晶圆后处理系统，该晶圆后处理系统包括承载装置和多个作业装置，多个作业装置包括刷洗作业装置和至少一个喷淋作业装置；承载装置，用于在喷淋作业装置进行作业的过程中，带动放置于承载装置上的晶圆进行旋转；刷洗作业装置，用于对晶圆进行刷洗作业，并带动晶圆相对于承载装置进行旋转；喷淋作业装置，用于对晶圆进行喷淋作业；其中，在多个作业装置中的目标作业装置进行作业的过程中，多个作业装置中目标作业装置以外的每一作业装置，均处于非作业状态且位于避让目标作业装置的作业范围的位置，目标作业装置为多个作业装置中的任一作业装置。本方案优化了晶圆后处理系统对晶圆的清洁效果。
主权项：1.一种晶圆后处理系统，其特征在于，包括：承载装置和多个作业装置，所述多个作业装置包括刷洗作业装置和至少一个喷淋作业装置；所述承载装置，用于在所述喷淋作业装置进行作业的过程中，带动放置于所述承载装置上的晶圆进行旋转；所述刷洗作业装置，用于对晶圆进行刷洗作业，并带动晶圆相对于所述承载装置进行旋转；所述喷淋作业装置，用于对晶圆进行喷淋作业；其中，在所述多个作业装置中的目标作业装置进行作业的过程中，所述多个作业装置中所述目标作业装置以外的每一所述作业装置，均处于非作业状态且位于避让所述目标作业装置的作业范围的位置，所述目标作业装置为所述多个作业装置中的任一所述作业装置。
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百度查询： 华海清科(北京)科技有限公司 晶圆后处理系统
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