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摘要：本发明实施例公开了抛光头和抛光设备，所述抛光头包括：头部主体；设置在所述头部主体的下表面上的吸附口，所述吸附口用于吸附硅片，使得所述硅片能够与所述头部主体一起运动；设置在所述头部主体的下表面上的第一排放口，所述第一排放口沿径向方向设置在所述吸附口的外侧，用于在所述硅片被抛光时在所述硅片的周向外侧排放气体，以减少所述硅片的边缘附近的抛光液的量。
主权项：1.一种抛光头，其特征在于，所述抛光头包括：头部主体；设置在所述头部主体的下表面上的吸附口，所述吸附口用于吸附硅片，使得所述硅片能够与所述头部主体一起运动；设置在所述头部主体的下表面上的第一排放口，所述第一排放口沿径向方向设置在所述吸附口的外侧，用于在所述硅片被抛光时在所述硅片的周向外侧排放气体，以减少所述硅片的边缘附近的抛光液的量，其中，所述抛光头还包括驱动所述抛光头运动的驱动器，所述驱动器用于实现所述抛光头绕自身轴线的旋转运动以及平移运动，所述抛光头还包括设置在所述头部主体的下表面上的第二排放口，所述第二排放口沿径向方向位于所述吸附口与所述第一排放口之间，用于在所述硅片被抛光时在所述硅片的周向外侧排放液体，以降低所述硅片的边缘附近的抛光液的浓度，所述第一排放口和所述第二排放口设置成：在抛光的初始阶段，所述第一排放口和所述第二排放口均不进行排放；在抛光的中间阶段，间歇性地使所述第一排放口排放气体以及使第二排放口排放液体。
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百度查询： 西安奕斯伟材料科技股份有限公司 抛光头和抛光设备
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