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全口径抛光中抛光盘清洗装置 

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摘要:本发明涉及全口径抛光中抛光盘清洗装置,搭载于全口径抛光抛光机上,包括:毛刷机构,毛刷机构连接于抛光机横梁上,其输出端下方连接有复合结构的刷盘,刷盘朝向抛光盘表面侧具有刷毛,刷毛中心至外边缘逐渐由稀到密布置形成多个环,刷盘的洗刷范围覆盖整个抛光盘表面,供液龙头实时为刷毛提供清洗剂;供液机构,供液机构提供适合温度的清洗剂,并根据所需流量通过供液龙头供给至抛光盘表面;控制柜,供液机构及毛刷机构至少部分部件与控制柜电性连接。本发明通过集成供液机构、毛刷机构和控制柜等组件,实现了对抛光盘的高效、均匀、稳定的清洗,提高了清洗质量和效率。同时,通过精确的控制和监测系统,确保了清洗过程的可靠性和安全性。

主权项:1.全口径抛光中抛光盘清洗装置,搭载于全口径抛光抛光机1上,其特征在于,包括:供液机构,所述供液机构提供适合温度的清洗剂,并根据所需流量通过供液龙头50供给至抛光盘2表面;毛刷机构,所述毛刷机构连接于抛光机横梁3上,其输出端下方连接有刷盘25,所述刷盘25为复合结构,朝向抛光盘2表面侧具有刷毛54,所述刷毛54中心至外边缘逐渐由稀到密布置形成多个环,避免抛光盘2中心过度刷洗,所述刷盘25的洗刷范围覆盖整个抛光盘2表面,所述供液龙头50实时为所述刷毛54提供清洗剂;控制柜19,所述供液机构及所述毛刷机构至少部分部件与所述控制柜19电性连接。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 全口径抛光中抛光盘清洗装置

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