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快速点阵式微纳米冲击压入测试系统 

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摘要:本发明公开了一种快速点阵式微纳米冲击压入测试系统,涉及材料微观力学测试技术领域。包括三维电动定位模块,三维电动定位模块包括XY平移台和Z轴升降台;点阵式冲击压入模块,点阵式冲击压入模块包括设于Z轴升降台上的三自由度压电平台,三自由度压电平台的一个表面设有压电陶瓷促动器,压电陶瓷促动器一端连接有压头;夹具,夹具夹持有待测试件,待测试件正对压头;成像模块,成像模块包括显微镜头,显微镜头用于观察拍摄待测试件。本系统不仅能够实现原位微纳米冲击压入测试,同时其能够实现快速点阵式压入,且压入的精度较高;同时,相对于现有技术,本发明采用直驱式结构驱动压头,冲击响应时间更短,速度更快,能够实现更高应变条件冲击。

主权项:1.一种快速点阵式微纳米冲击压入测试系统,其特征在于,包括,三维电动定位模块,所述三维电动定位模块包括XY平移台和Z轴升降台,所述Z轴升降台设于所述XY平移台上;所述XY平移台包括一组正交设置的伺服电机,所述伺服电机输出端连接有精磨丝杠,所述精磨丝杠连接有交叉导轨,所述Z轴升降台设于所述交叉导轨上部,所述升降台侧面、交叉导轨侧面均设有光栅尺;点阵式冲击压入模块,所述点阵式冲击压入模块包括设于所述Z轴升降台上的三自由度压电平台,所述三自由度压电平台的一个表面设有压电陶瓷促动器,所述压电陶瓷促动器一端通过压杆连接有压头;所述三自由度压电平台内设有压电叠堆和末端为弧形的仿生螳螂爪,基于杠杆原理,所述仿生螳螂爪将所述压电叠堆的行程放大;夹具,所述夹具夹持有待测试件,所述待测试件正对所述压头;成像模块,所述成像模块包括显微镜头,所述显微镜头用于观察拍摄所述待测试件;所述三自由度压电平台的一个表面设有环形支架,所述压电陶瓷促动器设于所述环形支架内部,所述环形支架一端设有轴承,所述压杆穿过所述轴承并与所述压头连接;所述环形支架另一端内部设有一对对顶楔形块,所述对顶楔形块设于所述压电陶瓷促动器顶部和所述环形支架之间,所述环形支架的至少一侧设有紧固螺栓,所述紧固螺栓用于对所述对顶楔形块施加横向力,所述对顶楔形块将所述横向力转变为对压电陶瓷促动器的预紧力;所述对顶楔形块为一对主体形状为直角三角形的顶块,其两条斜边贴合,同时环形支架的至少一个侧壁上设有紧固螺栓,所述紧固螺栓贯穿所述环形支架的侧壁,且所述紧固螺栓设于所述环形支架内部的一端与所述对顶楔形块的侧边接触。

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