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摘要：一种制备高熵钎料合金的多边形装置，包括真空腔室，所述真空腔室为多边形，在真空腔室内壁上均设置有磁场发生机构，在磁场发生机构的内侧还设置有靶材，所述真空腔室底部有中心柱，真空腔室底板和中心柱构成基底；还包括直流电源、转动机构和真空调节系统，直流电源的负极与靶材连接，直流电源的阳极与基底的中心柱连接，直流电源还与控制系统连接；转动机构套设在基底的中心柱上，且转动机构通过变频器与控制系统连接，在真空腔室内设置压力传感器，压力传感器与控制系统连接；真空调节系统包括与真空腔室连通的高压气体存储装置和通过排气管道与真空腔室连通的抽气泵。顺利解决多元、多尺度箔带钎料及超薄钎料制备的难题。
主权项：1.一种制备高熵钎料合金的多边形装置，其特征在于：包括真空腔室（7），所述真空腔室为多边形，在真空腔室内壁上均设置有磁场发生机构（8），在磁场发生机构（8）的内侧还设置有靶材（3），所述真空腔室底部有中心柱，真空腔室底板和中心柱构成基底（5）；还包括直流电源（12），直流电源的负极与靶材连接，直流电源的阳极与基底的中心柱连接，直流电源还与控制系统连接；还包括转动机构（17），转动机构套设在基底的中心柱上，且转动机构通过变频器（14）与控制系统（13）连接，在真空腔室内设置压力传感器（16），压力传感器与控制系统连接；还包括真空调节系统，真空调节系统包括与真空腔室连通的高压气体存储装置（1），和抽气泵（10），抽气泵通过排气管道（9）与真空腔室连通，高压气体存储装置通过进气管道（2）与真空腔室连通，高压气体存储装置和抽气泵均与控制系统连接；相邻磁场发生机构连接处对应的基底上设置有磁力搅拌装置（6），磁力搅拌装置与控制系统连接；所述磁场发生机构包括两个N极和夹设在两个N极内的S极，磁场发生机构为长条状，对应的靶材也是条状；所述真空腔室为至少六边形。
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百度查询： 华北水利水电大学 一种制备高熵钎料合金的多边形装置
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