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摘要：本发明提出了一种掺杂氧的中熵合金金属玻璃纳米层状薄膜及其制备方法，属于金属合金薄膜技术领域，采用直流磁控溅射法，在基底表面交替沉积软相中熵合金层与硬相金属玻璃层，两相呈交替的层状分布，调控两相的溅射功率与溅射时间，获得纳米层状薄膜。本发明操作简单，条件易于控制，重复性好，制得的薄膜界面清晰、厚度均匀、表面光滑平整，具有优异的力学性能，在高强度电子器件、耐磨以及抗腐蚀涂层等领域拥有广泛的应用前景。
主权项：1.一种掺杂氧的中熵合金金属玻璃纳米层状薄膜，其特征在于，包括含氧中熵合金层和含氧金属玻璃层；其中，含氧中熵合金层和含氧金属玻璃层作为一个交替周期，依次层叠；所述含氧中熵合金层中的成分为Fe30.5Cr26.8Ni34.7O8.0；所述含氧金属玻璃层中的成分为Ti30.4V15.6Nb24.1Hf14.2O15.7；每层所述含氧中熵合金层的厚度为25-100nm；每层所述含氧金属玻璃层的厚度为50nm。
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百度查询： 上海大学 一种掺杂氧的中熵合金/金属玻璃纳米层状薄膜及其制备方法
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