龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
摘要：本实用新型公开了一种静电卡盘，属于半导体技术领域，包括基底、加热层、陶瓷层、第一粘合层、第二粘合层、内密封圈，其中，通过所述第一粘合层，所述加热层键合在所述基底上；通过所述第二粘合层，所述陶瓷层键合在加热层上；所述内密封圈至少环绕包裹住所述加热层的侧面、所述第一粘合层的侧面和所述第二粘合层的侧面，其特征在于，所述内密封圈的上端设有第一凸起，所述内密封圈的下端设有第二凸起，所述陶瓷层上设有与所述第一凸起配合的第一凹槽，所述基底上设有与所述第二凸起配合的第二凹槽。通过设置第一凸起和第二凸起，配合第一凹槽、第二凹槽使用，避免粘接物质受到侵蚀。
主权项：1.一种静电卡盘，包括基底、加热层、陶瓷层、第一粘合层、第二粘合层、内密封圈，其中，通过所述第一粘合层，所述加热层键合在所述基底上；通过所述第二粘合层，所述陶瓷层键合在加热层上；所述内密封圈至少环绕包裹住所述加热层的侧面、所述第一粘合层的侧面和所述第二粘合层的侧面，其特征在于，所述内密封圈的上端设有第一凸起，所述内密封圈的下端设有第二凸起，所述陶瓷层上设有与所述第一凸起配合的第一凹槽，所述基底上设有与所述第二凸起配合的第二凹槽。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 君原电子科技(海宁)有限公司 一种静电卡盘
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号