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摘要：本实用新型实施例公开一种执行层压工艺的设备。所述设备包括工艺腔包括上腔室、下腔室，以及所述上腔室与所述下腔室之间的内部空间。所述下腔室可操作以支撑衬底，且所述上腔室可操作以承载将被层压在所述衬底上的工艺薄膜。所述设备还包括配置于所述工艺腔的所述上腔室的保护薄膜，所述工艺薄膜与所述保护薄膜的平坦光滑的表面贴合。
主权项：1.一种执行层压工艺的设备，其特征在于，包括：工艺腔，包括上腔室、下腔室，以及所述上腔室与所述下腔室之间的内部空间，所述下腔室可操作以支撑衬底，且所述上腔室可操作以承载将被层压在所述衬底上的工艺薄膜；以及保护薄膜，配置于所述工艺腔的所述上腔室，其中所述工艺薄膜黏附在所述保护薄膜的平坦光滑的表面上。
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百度查询： 台湾积体电路制造股份有限公司 执行层压工艺的设备
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