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固态前驱体包装容器 

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摘要:本申请实施例涉及一种固态前驱体包装容器。属于前驱体包装容器领域。固态前驱体包装容器包括瓶体、出料管道和多个托盘,瓶体包括瓶底、瓶壁和瓶盖,瓶底、瓶壁和瓶盖形成密封腔室,瓶盖上具有载气入口与蒸汽出口;出料管道的一端连通蒸汽出口,另一端位于密封腔室内;多个托盘套装于出料管道上,托盘连接于瓶壁上,多个托盘堆叠设置,托盘上具有多个通孔,载气从载气入口输入流经多个托盘上的多个通孔,并将蒸汽携带至出料管道的另一端处,蒸汽从出料管道排出。本申请实施例提供的包装容器能够使得载气的流动方向与蒸汽的流动方向相反能够形成对冲混合,大大提高载气与蒸汽的混合效果,进一步保证前驱体蒸汽的稳定性。

主权项:1.一种固态前驱体包装容器,所述固态前驱体包装容器中的固态前驱体在加热后升华转变为蒸汽,其特征在于,包括:瓶体,所述瓶体包括瓶底、瓶壁和瓶盖,所述瓶底、瓶壁和瓶盖形成密封腔室,所述瓶盖可拆卸盖装于所述瓶壁上,所述瓶盖上具有载气入口与蒸汽出口,所述载气入口与所述蒸汽出口均连通所述密封腔室;出料管道,所述出料管道的一端连通所述蒸汽出口,另一端位于所述密封腔室内;多个托盘,所述多个托盘套装于所述出料管道上,所述托盘连接于所述瓶壁上,所述多个托盘堆叠设置,所述托盘上具有多个通孔;混合芯,所述混合芯位于所述出料管道内,且连接于所述出料管道内壁上,所述混合芯用于对流经所述出料管道内的所述蒸汽进行混合;所述固态前驱体放置于所述托盘上,载气从所述载气入口输入所述密封腔室后从所述瓶盖向所述瓶底方向流动并依次流经所述多个托盘上的多个所述通孔,并将所述固态前驱体升华转化成的蒸汽携带至所述出料管道的另一端处,所述蒸汽从所述出料管道排出。

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