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摘要：本发明涉及半导体前道检测技术领域，涉及明场检测技术，尤其是涉及一种检测装置、检测方法及检测系统。通过对入射和反射光偏振态进行调整，得到具有不同偏振态的信号光，并基于不同偏振态的信号光之间的干涉效应确定干涉信号的特性，基于干涉信号的特性对待测物进行缺陷特征的判断。本发明与现有技术相比解决了整体光路光功率损耗过多，光路偏振调整繁琐的问题。
主权项：1.一种检测装置，其特征在于，包括：光源，用于产生具有第一方向的偏振光；偏振分束器，用于透射第一方向的偏振光，反射第二方向的偏振光，所述第一方向和所述第二方向垂直；法拉第旋光片，用于使光的偏振方向旋转45°，具有第一方向的偏振光经所述法拉第旋光片旋转后经过待测物返回所述法拉第旋光片，再次沿相同方向旋转45°形成信号光，所述信号光的偏振方向为第二方向；探测器，用于接收经所述偏振分束器反射后的所述信号光。
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百度查询： 聚时科技(上海)有限公司 一种检测装置、检测方法及检测系统
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