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摘要:发明目的在于实现:从保管设备的上方提供于保管设备的洁净空气的供给即使不均匀,也能够维持保管设备内的无尘度。保管设备1可设置到无尘室CR内,无尘室CR通过从设置在天花板100上的滤扇单元FFU供给洁净空气来保持室内无尘度。保管设备1具备供载置容器50的保管架2,至少在保管架2的头顶位置P设有多个孔4,从滤扇单元FFU供给到无尘室CR内的洁净空气穿过多个孔4而进入保管设备1的内部。
主权项:1.一种保管设备,其设置于无尘室,其中所述无尘室通过从设置在天花板上的滤扇单元供给洁净空气来保持室内的无尘度,所述保管设备的特征在于:具备供载置物品的保管架,至少在所述保管架的头顶位置设有多个孔,从所述滤扇单元供给到所述无尘室内的所述洁净空气穿过所述多个孔而进入所述保管设备的内部。
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