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摘要：本申请实施例公开了一种激光退火设备。其中，该激光退火设备包括反应腔、进气装置和排气装置；进气装置，位于反应腔的一侧；进气装置包括进气管、进气沟槽和加热组件；进气管，与进气沟槽连通，用于输送气体至进气沟槽；进气沟槽，与反应腔连通，用于暂存气体并输送气体至反应腔；加热组件，位于进气沟槽内，用于对输送至反应腔的气体进行加热；排气装置，位于反应腔的另一侧，用于排出反应腔内的气体。
主权项：1.一种激光退火设备，其特征在于，包括：反应腔；进气装置，位于所述反应腔的一侧；所述进气装置包括进气管、进气沟槽和加热组件；所述进气管，与所述进气沟槽连通，用于输送气体至所述进气沟槽；所述进气沟槽，与所述反应腔连通，用于暂存气体并输送气体至所述反应腔；所述加热组件，位于所述进气沟槽内，用于对输送至所述反应腔的气体进行加热；排气装置，位于所述反应腔的另一侧，用于排出所述反应腔内的气体。
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