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摘要：一种保持构件，其以陶瓷作为主要成分，用于保持对象物，其特征在于，保持构件具有作为保持对象物的那一侧的面的保持面，保持面中的至少一部分的表面由第1陶瓷晶体颗粒构成，比保持面靠内侧的部分由第2陶瓷晶体颗粒构成，作为第1陶瓷晶体颗粒的粒径的第1粒径比作为第2陶瓷晶体颗粒的粒径的第2粒径小。
主权项：1.一种保持构件，其以陶瓷作为主要成分，用于保持对象物，其特征在于，所述保持构件具有作为保持所述对象物的那一侧的面的保持面，所述保持面中的至少一部分的表面由第1陶瓷晶体颗粒构成，所述保持构件中的比所述保持面靠内侧的部分由第2陶瓷晶体颗粒构成，作为所述第1陶瓷晶体颗粒的粒径的第1粒径比作为所述第2陶瓷晶体颗粒的粒径的第2粒径小。
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百度查询： 日本特殊陶业株式会社 保持构件和静电卡盘
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