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摘要：本实用新型的实施例提供一种制造探针卡的系统，其包括包含储液池和开口的贮槽、包括第一侧和与所述第一侧相对的第二侧的导电图案结构以及耦合到所述导电图案结构的所述第二侧的定向结构。通过所述开口可进入所述储液池，所述导电图案结构在所述贮槽的所述储液池之中，所述导电图案结构包括在所述导电图案结构的第一侧的图案，所述定向结构配置为旋转所述导电图案结构，利用制造探针卡的系统执行电化学精制工艺所形成的探针具有较佳的表面精修度。
主权项：1.一种制造探针卡的系统，其特征在于，包括：贮槽，包括所述贮槽内的储液池和开口，通过所述开口可进入所述储液池；导电图案结构，包括第一侧和与所述第一侧相对的第二侧，所述导电图案结构在所述贮槽的所述储液池之中，并且所述导电图案结构包括在所述导电图案结构的第一侧的图案；以及定向结构，耦合到所述导电图案结构的所述第二侧，所述定向结构配置为旋转所述导电图案结构。
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百度查询： 台湾积体电路制造股份有限公司 制造探针卡的系统
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