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摘要：本申请涉及原子力显微镜技术领域，公开一种探针跟踪装置，包括：探针和光路组件。光路组件包括光源、可转动反射镜、第一凸透镜和第一会聚镜；其中，光源用于产生检测光，可转动反射镜用于反射检测光，第一凸透镜的焦点位于可转动反射镜反射检测光的位置处，第一会聚镜用于使探针反射的检测光照射至位置探测器上。通过设置第一会聚镜，能够使反射的检测光沿与入射光路不同的光路照射至位置探测器上。在测量过程中，通过与入射光路不同的光路采集反射的检测光，采集精度不受可转动反射镜运动的影响，减少了反射光束因为探针跟踪运动所产生的误差，提高了原子力显微镜的测量的精确度。本申请还公开一种原子力显微镜。
主权项：1.一种探针跟踪装置，其特征在于，包括：探针；光路组件，包括光源、可转动反射镜、第一凸透镜和第一会聚镜；其中，光源用于产生检测光，可转动反射镜用于反射检测光，第一凸透镜的焦点位于可转动反射镜反射检测光的位置处，第一会聚镜用于使探针反射的检测光照射至位置探测器上。
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百度查询： 致真精仪(北京)科技有限公司 探针跟踪装置及原子力显微镜
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