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摘要：本发明实施例提供了一种用于提高信噪比的扫描探针系统测量方法与扫描探针系统，涉及探针测量技术领域。测量方法包括：控制若干个测量探针中的至少一个目标测量探针与若干个测量探针中的至少一个目标参照探针进行测量，其中目标测量探针对目标表面进行扫描测量，目标参照探针对参照表面进行测量，目标测量探针与目标参照探针之间的测量时间差小于预设的时间差阈值；获取各目标测量探针测量得到的目标表面的表面探测信号，并获取各目标参照探针测量参照表面时受环境影响形成的噪音信号为主的参照测量信号；对于每个目标测量探针，利用目标参照探针的参照测量信号，对目标测量探针的表面探测信号进行修正，从而大幅提升探针测量信号的信噪比。
主权项：1.一种用于提高信噪比的扫描探针系统的测量方法，其特征在于，扫描探针系统包括：第一类探针与第二类探针，所述第一类探针包括若干个测量探针，所述第二类探针包括若干个参照探针，所述参照探针测量参照表面的横向分辨率低于预设分辨率值；所述方法包括：控制所述若干个测量探针中的至少一个目标测量探针与所述若干个测量探针中的至少一个目标参照探针进行测量，其中所述目标测量探针对目标表面进行扫描测量，所述目标参照探针对所述参照表面进行测量，所述目标测量探针与所述目标参照探针之间的测量时间差小于预设的时间差阈值；获取各所述目标测量探针测量得到的所述目标表面的表面探测信号，并获取各所述目标参照探针测量所述参照表面时受环境影响形成的噪音信号为主的参照测量信号；对于每个所述目标测量探针，利用所述目标参照探针的参照测量信号，对所述目标测量探针的表面探测信号进行修正。
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权利要求：
百度查询： 百及纳米科技(上海)有限公司 用于提高信噪比的扫描探针系统测量方法与扫描探针系统
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