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摘要：本公开提供了外腔可调谐激光器调谐机构及其波长校正方法，涉及激光技术领域。一种外腔可调谐激光器调谐机构，包括：衍射光栅，用于对平行光束进行衍射，以产生谐振光束；旋转位移台，用于承载所述衍射光栅以及调节所述衍射光栅的角度；平移位移台，用于承载所述旋转位移台以及调节外腔可调谐激光器的外腔光路长度；控制模块，用于基于输入的第一电流信号控制所述旋转位移台以第一步进量进行步进运动，以调节所述衍射光栅的角度；以及根据所述旋转位移台的第一步进量计算所述平移位移台的第二步进量，控制所述平移位移台以所述第二步进量进行步进运动，以调节所述外腔可调谐激光器的外腔光路长度。
主权项：1.一种外腔可调谐激光器调谐机构，其特征在于，包括：衍射光栅，用于对平行光束进行衍射，以产生谐振光束；旋转位移台，用于承载所述衍射光栅以及调节所述衍射光栅的角度；平移位移台，用于承载所述旋转位移台以及调节外腔可调谐激光器的外腔光路长度；控制模块，用于基于输入的第一电流信号控制所述旋转位移台以第一步进量进行步进运动，以调节所述衍射光栅的角度；以及根据所述旋转位移台的第一步进量计算所述平移位移台的第二步进量，控制所述平移位移台以所述第二步进量进行步进运动，以调节所述外腔可调谐激光器的外腔光路长度。
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百度查询： 中国科学院半导体研究所 外腔可调谐激光器调谐机构及其波长校正方法
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