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摘要：本发明公开了一种电子束物理气相沉积EB‑PVD制备热障涂层装置及方法，属于热障涂层技术领域，包括装料室，装料室与沉积室通过连接通道密封连通，密封阀门密封固定设置在连接通道上，旋转主轴的一端设置在装料室内，旋转主轴的另一端穿过装料室与驱动组件固定相连，旋转主轴与装料室的侧壁密封配合，靶材组件密封设置在沉积室的底部上，电子枪密封固定设置在沉积室的内壁上，加热组件固定设置在沉积室内壁上，加热组件通过密封导电组件与控制组件电连接。通过增设装料室和密封阀门，装料时可以有效的将沉积室密封起来，需要涂层时，只需要将装料室抽成真空即可，装料室体积小，可以有效的减少抽真空消耗的能量。

主权项：1.一种电子束物理气相沉积EB-PVD制备热障涂层装置，其特征在于：包括装料室（1）、沉积室（2）、叶片工装（3）、旋转主轴（4）、连接通道（5）、密封阀门（6）、电子枪（7）、靶材组件（8）、加热组件、驱动组件（9）、密封导电组件、抽真空组件（10）和控制组件（11），所述装料室（1）与所述沉积室（2）通过所述连接通道（5）密封连通，所述密封阀门（6）密封固定设置在所述连接通道（5）上，所述旋转主轴（4）的一端设置在所述装料室（1）内且与所述叶片工装（3）固定相连，所述旋转主轴（4）的另一端穿过所述装料室（1）与所述驱动组件（9）固定相连，所述旋转主轴（4）与所述装料室（1）的侧壁密封配合，所述靶材组件（8）密封设置在所述沉积室（2）的底部上且与所述叶片工装（3）配合，所述电子枪（7）密封固定设置在所述沉积室（2）的内壁上且与所述靶材组件（8）配合，所述加热组件固定设置在所述沉积室（2）内壁上且与所述叶片工装（3）配合，所述加热组件通过所述密封导电组件与所述控制组件（11）电连接，所述密封导电组件密封固定设置在所述沉积室（2）的侧壁上，所述装料室（1）和所述沉积室（2）分别与所述抽真空组件（10）密封相连，所述电子枪（7）、所述靶材组件（8）、所述驱动组件（9）和所述抽真空组件（10）均与所述控制组件（11）电连接；所述加热组件包括加热棒（12）、弧形连接头（13）、固定杆（14）、第一耐高温绝缘管（15）、隔热层（16）、耐高温绝缘垫圈（17）、承载外壳（18）、承载端板（19）和承载挡板（20），所述承载外壳（18）的两端上固定设置有所述承载端板（19），所述承载外壳（18）的两侧上固定设置有与所述承载端板（19）固定相连的所述承载挡板（20），所述承载外壳（18）内设置有至少两层所述隔热层（16），所述隔热层（16）的两侧均设置在所述承载挡板（20）上，所述隔热层（16）的两端分别与两个所述承载端板（19）配合，所述承载外壳（18）的两端上均设置有第一安装孔（21），所述隔热层（16）上设置有与所述第一安装孔（21）配合的第二安装孔（22），所述第一耐高温绝缘管（15）的一端设置在所述第一安装孔（21）上且延伸至所述承载外壳（18）的外侧，所述第一耐高温绝缘管（15）的另一端设置在所述第二安装孔（22）上且延伸至所述隔热层（16）的内侧，所述弧形连接头（13）设置在所述隔热层（16）的内侧且与所述固定杆（14）的一端固定相连，所述固定杆（14）的另一端穿过所述第一耐高温绝缘管（15）且固定在所述第一耐高温绝缘管（15）上，所述弧形连接头（13）与所述加热棒（12）相间设置且首尾电相连，两端侧的所述加热棒（12）或者所述弧形连接头（13）与密封导电组件电连接，所述加热棒（12）与所述叶片工装（3）配合，所述隔热层（16）与所述隔热层（16）之间设置有所述耐高温绝缘垫圈（17），所述承载外壳（18）与所述隔热层（16）之间设置有所述耐高温绝缘垫圈（17），所述耐高温绝缘垫圈（17）套设在所述第一耐高温绝缘管（15）上。

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