龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
摘要：本发明公开了一种晶圆视觉检测机的晶圆移载机构，涉及半导体加工技术领域。包括支撑支架和设备底座，所述支撑支架上活动安装有驱动辊，所述驱动辊两端边缘处设有输送链，所述输送链上开设有活动孔，所述活动孔内活动安装有定位机构，所述定位机构包括活动安装在活动孔内的定位轴，且定位轴在活动孔内受到一定阻力，所述输送链下方设有转向机构。本发明所述的一种晶圆视觉检测机的晶圆移载机构，定位机构可以将晶圆定位在输送链之间，之后可以通过电机带动驱动辊旋转，驱动辊旋转之后其会带动定位机构上的晶圆向前运动，将晶圆移载到晶圆视觉检测机内部检测，且检测过程中转向机构会带动晶圆自动翻面，提升检测效率。
主权项：1.一种晶圆视觉检测机的晶圆移载机构，包括支撑支架1和设备底座2，其特征在于：所述支撑支架1上活动安装有驱动辊4，所述驱动辊4两端边缘处设有输送链3，所述输送链3上开设有活动孔5，所述活动孔5内活动安装有定位机构6，所述定位机构6包括活动安装在活动孔5内的定位轴601，且定位轴601在活动孔5内受到一定阻力，所述定位轴601上固定安装有定位卡套602，所述定位卡套602内设有定位卡座603，所述输送链3下方设有转向机构7，所述转向机构7包括固定在设备底座2上的齿条座703上和固定在定位轴601一端的转向齿轮706，所述齿条座703上端固定安装有驱动齿条704，且驱动齿条704的长度为转向齿轮706周长的的一半或任意长度，转向齿轮为不锈钢材质。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 安徽超元半导体有限公司 一种晶圆视觉检测机的晶圆移载机构
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号