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压力传感器和压力检测方法 

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摘要:本申请提供一种压力传感器和压力检测方法,压力传感器包括壳体、定膜、第一动膜以及第二动膜,第一动膜和定膜形成第一电容组件,第二动膜位于定膜背离第一动膜的一侧,第二动膜和定膜形成第二电容组件,第一电容组件的第一短路气压值不同于第二电容组件的第二短路气压值;壳体于第一动膜远离定膜的一侧形成第一测压腔,壳体于第二动膜远离定膜的一侧形成第二测压腔,第一测压腔和第二测压腔由连通孔连通。第一测压腔和第二测压腔中的压力可使第一动膜和第二动膜发生弹性形变,改变第一电容组件和第二电容的电容值。由于第一短路气压值和第二短路气压值不同,压力传感器通过第一电容组件和第二电容分别用于满足不同量程的压力测量。

主权项:1.一种压力传感器,其特征在于,包括壳体、定膜、第一动膜以及第二动膜,其中,所述第一动膜和所述定膜形成第一电容组件,所述第二动膜位于所述定膜背离所述第一动膜的一侧,所述第二动膜和所述定膜形成第二电容组件,所述第一电容组件的第一短路气压值不同于所述第二电容组件的第二短路气压值;所述壳体于所述第一动膜远离所述定膜的一侧形成第一测压腔,所述壳体于所述第二动膜远离所述定膜的一侧形成第二测压腔,所述压力传感器还具有用于连通所述第一测压腔和所述第二测压腔的连通孔。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 北京华丞电子有限公司 压力传感器和压力检测方法

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