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摘要：本发明涉及微纳加工技术领域，公开了一种适用于周期性结构金刚石的加工方法，本发明主要采用金属热腐蚀金刚石的方法。金刚石具有极高的硬度、高热传导性、优异的化学稳定性和宽光谱透过性等特点，使其在工具加工、高能领域、光学、电子、医疗和珠宝等领域中有广泛的应用。本发明利用热腐蚀进行微纳加工金刚石的周期性结构可以有效降低生产成本，在热腐蚀实验后的各项指标正常。并且热腐蚀可用镍，钛以及钨等多种金属与金刚石反应制备而成，可应用于工业生产。
主权项：1.一种适用于金刚石的周期性微纳结构的加工方法，其特征在于，包括以下步骤：1对所述金刚石表面进行抛光处理；2清洗抛光后的金刚石，以除表面杂质；3根据所要形成的微结构图案定制掩膜版，在金刚石表面旋涂光刻胶，将所述掩膜版与所述金刚石表面对准后进行曝光处理，热烘后曝光处理，在金刚石表面形成图案；4采用磁控溅射，在金刚石上未被光刻胶覆盖的区域生长金属涂层，剥离光刻胶，留下微结构；5将经过步骤4处理的金刚石在管式炉中热腐蚀，获得周期性微纳结构金刚石。
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百度查询： 国科大重庆学院 一种适用于金刚石的周期性微纳结构的加工方法
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