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摘要：本发明公开了一种氮化硅粉体前驱体、氮化硅粉体及其制备方法，该氮化硅粉体的制备方法包括如下步骤：S1取Si粉、氮化硅粉、磷酸三乙酯、聚乙烯醇缩丁醛和乙醇球磨混合，得到前驱体料浆；S2对所述前驱体料浆进行喷雾造粒，得到前驱体；S3将所述前驱体加入倾斜旋转流化床反应室，在N2气流下，旋转反应室中通入N2并加热所述造粒粉，使其与N2发生氮化反应，得到Si3N4粉。本发明通过控制造粒粉的加入速率、反应温度、流化床反应室的旋转速率及高纯N2流量，实现目标粉体的连续批量化制备；同时实现所制备Si3N4粉体中α相比例升高，以及杂质含量的稳定。
主权项：1.一种氮化硅粉体前驱体的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：S1、取Si粉、氮化硅粉、磷酸三乙酯、聚乙烯醇缩丁醛和乙醇混合，得到前驱体料浆；S2、对所述前驱体料浆进行喷雾造粒，得到前驱体。
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百度查询： 湖南大学 一种氮化硅粉体前驱体、氮化硅粉体及其制备方法
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