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摘要:本发明提供的一种分子泵磁环磁感强度检测装置及方法,属于分子泵技术领域,一种分子泵磁环磁感强度检测装置,包括:固定器、驱动结构和高斯计,驱动结构处于调试状态时,驱动传感器在空间位置任意移动,驱动结构处于工作状态时,驱动结构使传感器贴位于所述磁环的外表面,并且保持传感器位于所述磁环沿轴线方向的平分线处,本方案通过驱动结构驱动传感器的方式,能够完全脱离人手,且可以保证传感器贴于磁环中心、传感器与磁环始终保持完全平行或垂直、磁环与传感器接触时相互作用力始终保持一致,从而保证同一个磁环多次重复测量的结果的一致性以及准确性。
主权项:1.一种分子泵磁环磁感强度检测装置,其特征在于,包括:固定器1,设置在工作台6上;所述固定器1适于固定磁环7;驱动结构2,设置在所述工作台6上;所述驱动结构2包括调试状态和工作状态,当所述驱动结构2处于调试状态时,所述驱动结构2适于驱动与所述驱动结构2连接的传感器4在空间任意位置移动;当所述驱动结构2处于工作状态时,所述驱动结构2驱动传感器4紧贴位于所述磁环7的外表面,并且保持传感器4位于所述磁环7沿轴线方向的平分线处;高斯计3,适于与所述传感器4连接;所述高斯计3时刻检测所述传感器4的磁值。
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权利要求:
百度查询: 北京中科科仪股份有限公司 一种分子泵磁环磁感强度检测装置及方法
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