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摘要：本发明涉及抛光废液处理组合物及抛光废液处理方法，抛光废液处理组合物包括：第一处理液，所述第一处理液包括草酸、无机强酸和水，其中，所述第一处理液的pH为1～1.5；第二处理液，所述第二处理液包括13‑LF、无机强碱和水，其中，所述第二处理液的pH为12～13。其优点在于，使用低成本的化学药品，可以大幅度降低成本；采用无毒无害的化学药品替代有毒药品，防止工作人员操作时因误触产生误伤；配置溶液时无须复杂操作即可完成溶液配置；仅需将处理液倒入废弃抛光液搅拌静置即可，无复杂操作，简单方便。
主权项：1.一种抛光废液处理组合物，用于处理含有KMnO4、Al2O3的废弃抛光液，其特征在于，包括：第一处理液，所述第一处理液包括草酸、无机强酸和水，其中，所述第一处理液的pH为1～1.5；第二处理液，所述第二处理液包括13-LF、无机强碱和水，其中，所述第二处理液的pH为12～13。
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百度查询： 上海致领半导体科技发展有限公司 抛光废液处理组合物及抛光废液处理方法
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