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摘要：本公开涉及集成电路制造技术领域，提供感应线圈、控制组件、线圈驱动电路及等离子体工艺设备，感应线圈包括：至少一运动线圈，能以所述轴线为中心进行旋转；所述运动线圈通过导电连接机构与外部导电连接，包括：随所述旋转相对运动且保持导电接触的第一导电部和第二导电部；其中，所述运动线圈的旋转状态基于的样品表面各区域的刻蚀速率确定，包括：在所述旋转的过程中，所述运动线圈上的接线部分与受其作用的样品上的对应区域的停留时间同该对应区域的刻蚀速度之间负相关。通过控制内线圈和或外线圈的旋转，使得线圈图案中相对其他位置的磁场变化的部分能发生旋转，避免固定区域的刻蚀速率大于其它位置的缺陷并对刻蚀速率慢的区域进行补偿。
主权项：1.一种感应线圈，其特征在于，用于等离子体工艺设备，包括：至少一运动线圈，环绕一轴线绕制并被配置成能以所述轴线为中心进行旋转；其中，所述运动线圈通过一导电连接机构与外部导电连接；所述导电连接机构包括：随所述旋转相对运动且保持导电接触的第一导电部和第二导电部；所述运动线圈的旋转状态基于的样品表面各区域的刻蚀速率确定，包括：在所述旋转的过程中，所述运动线圈上的接线部分与受其作用的样品上的对应区域的停留时间同该对应区域的刻蚀速度之间负相关；所述接线部分包括以下至少一种：运动线圈的端部；运动线圈中内外相邻导线之间的变向过渡部分。
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百度查询： 上海邦芯半导体科技有限公司 感应线圈、控制组件、线圈驱动电路及等离子体工艺设备
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