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摘要：一种计量目标可包含具有第一图案的一或多个例子的第一旋转对称工作区及具有第二图案的一或多个例子的第二旋转对称工作区，其中所述第一图案或所述第二图案中的至少一者是由在第一样本层上的具有沿着测量方向的第一节距的第一光栅结构及在第二样本层上的具有沿着所述测量方向的不同于所述第一节距的第二节距的第二光栅结构形成的云纹图案。当所述第一样本层与所述第二层之间的叠加误差是零时，所述第一工作区及所述第二工作区的旋转对称中心通过设计可重叠。所述第一工作区及所述第二工作区的所述旋转对称中心之间的差可指示所述第一样本层与所述第二样本层之间的叠加误差。
主权项：1.一种计量目标，其包括：第一工作区，其包含第一图案的一或多个例子，其中所述第一工作区是旋转对称的；及第二工作区，其包含第二图案的一或多个例子，其中所述第二工作区是旋转对称的，其中所述第一图案或所述第二图案中的至少一者是由在第一样本层上的具有沿着测量方向的第一节距的第一光栅结构及在第二样本层上的具有沿着所述测量方向的第二节距的第二光栅结构形成的云纹图案，其中所述第二节距不同于所述第一节距，其中在所述第一样本层与所述第二样本层之间的叠加误差是零时，所述第一工作区的旋转对称中心与所述第二工作区的旋转对称中心重叠，其中沿着所述测量方向的所述第一工作区的所述旋转对称中心与所述第二工作区的所述旋转对称中心之间的差指示沿着所述测量方向的在所述第一样本层与所述第二样本层之间的叠加误差。
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百度查询： 科磊股份有限公司 使用云纹元件及旋转对称布置以成像叠加目标
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