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摘要：本实用新型涉及半导体制造技术领域，提供了一种硅烷尾气处理装置，包括：燃烧箱和过滤单元；所述过滤单元包括过滤通道、滤网以及抽吸装置，所述过滤通道的一端与所述燃烧箱的内腔连通，所述过滤通道的另一端与所述抽吸装置的进气端连通，所述滤网设置有多个，各所述滤网沿过滤通道的走向方向排列设置于所述过滤通道内，由靠近所述燃烧箱的一侧至靠近所述抽吸装置的一侧，各所述滤网的网孔孔径依次变小。该硅烷尾气处理装置将燃烧产生的明火限定在燃烧腔内，且通过多层滤网，能安全高效地处理硅烷尾气，减少尾气自燃产生的黄色烟雾及明火排放。
主权项：1.一种硅烷尾气处理装置，其特征在于，包括：燃烧箱和过滤单元；所述燃烧箱内具有燃烧腔，所述燃烧箱上设置有与所述燃烧腔连通的进气口；所述过滤单元包括过滤通道、滤网以及抽吸装置，所述过滤通道的一端与所述燃烧箱的内腔连通，所述过滤通道的另一端与所述抽吸装置的进气端连通，所述抽吸装置用于通过过滤通道抽吸所述燃烧腔内的气体；所述滤网设置有多个，各所述滤网沿过滤通道的走向方向排列设置于所述过滤通道内；由靠近所述燃烧箱的一侧至靠近所述抽吸装置的一侧，各所述滤网的网孔孔径依次变小。
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