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摘要：一种真空管路的气流逆止装置和真空泵系统。所述真空管路包括：设备端管路、真空泵端管路和抽气阀，所述抽气阀的进气端连接所述设备端管路，所述抽气阀的出气端连接真空泵端管路。所述真空管路的气流逆止装置包括：第一传感器，适于根据所述设备端管路内的气压输出对应的第一电压信号，第二传感器，适于根据所述真空泵端管路内的气压输出对应第二电压信号，比较器，所述比较器的正相输入端连接所述第一传感器的输出端，所述比较器的负相输入端连接所述第二传感器的输出端，所述比较器的输出端适于输出电压比较结果；联动部，适于根据所述电压比较结果输出控制信号，以控制所述抽气阀的进气端和出气端之间连通或关闭。
主权项：1.一种真空管路的气流逆止装置，所述真空管路包括：设备端管路、真空泵端管路和抽气阀，所述抽气阀的进气端连接所述设备端管路，所述抽气阀的出气端连接真空泵端管路，其特征在于，所述真空管路的气流逆止装置包括：第一传感器，适于根据所述设备端管路内的气压输出对应的第一电压信号，第二传感器，适于根据所述真空泵端管路内的气压输出对应第二电压信号，比较器，所述比较器的正相输入端连接所述第一传感器的输出端，所述比较器的负相输入端连接所述第二传感器的输出端，所述比较器的输出端适于输出电压比较结果；联动部，适于根据所述电压比较结果输出控制信号，以控制所述抽气阀的进气端和出气端之间连通或关闭。
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百度查询： 中芯南方集成电路制造有限公司 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 真空管路的气流逆止装置、真空泵系统
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