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摘要：本发明公开了一种用于改善深紫外LED空穴激活效率的外延生长方法，包括如下步骤：S1，制备深紫外LED外延片；S2，在氮气氛围下，对深紫外LED外延片进行若干周期的原位退火；S2步骤的单一原位退火周期中，腔体压力或者氮气流量中任一工艺参数呈先降低后升高趋势变化。本发明通过设置周期退火阶段，调整氮气流量或腔体压力，不仅提高了Mg的激活效率，还能够促使H解离后的副产物及时排出反应腔，有效防止Mg和H的二次成键，使深紫外LED器件的发光效率得到提升。

主权项：1.一种用于改善深紫外LED空穴激活效率的外延生长方法，其特征在于，包括如下步骤：S1，制备深紫外LED外延片；S2，在氮气氛围下，对深紫外LED外延片进行若干周期的原位退火；所述S2步骤的单一原位退火周期中，腔体压力或者氮气流量中任一工艺参数呈先降低后升高趋势变化；所述S2步骤包括依次连续执行的四个阶段：第一恒定退火阶段，下降阶段，第二恒定退火阶段和上升阶段；且满足，所述第一恒定退火阶段的腔体压力大于所述第二恒定退火阶段的腔体压力，或者所述第一恒定退火阶段的氮气流量大于所述第二恒定退火阶段的氮气流量；所述S2步骤的单一原位退火周期中，采用如下任意一种方式进行设置：A1，所述S2步骤的单一原位退火周期中，氮气流量恒定不变，且腔体压力呈先降低后升高趋势变化；所述第一恒定退火阶段的腔体压力大于所述第二恒定退火阶段的腔体压力，所述下降阶段的腔体压力由所述第一恒定退火阶段的腔体压力线性递减至所述第二恒定退火阶段的腔体压力，所述上升阶段的腔体压力由所述第二恒定退火阶段的腔体压力线性递增至所述第一恒定退火阶段的腔体压力；A2，所述S2步骤的单一原位退火周期中，腔体压力恒定不变，且氮气流量呈先降低后升高趋势变化；所述第一恒定退火阶段的氮气流量大于所述第二恒定退火阶段的氮气流量，所述下降阶段的氮气流量由所述第一恒定退火阶段的氮气流量线性递减至所述第二恒定退火阶段的氮气流量，所述上升阶段的氮气流量由所述第二恒定退火阶段的氮气流量线性递增至所述第一恒定退火阶段的氮气流量；A3，所述S2步骤的单一原位退火周期中，腔体压力与氮气流量呈先降低后升高趋势同步变化；所述第一恒定退火阶段的腔体压力大于所述第二恒定退火阶段的腔体压力，且所述第一恒定退火阶段的氮气流量大于所述第二恒定退火阶段的氮气流量；所述下降阶段的腔体压力由所述第一恒定退火阶段的腔体压力线性递减至所述第二恒定退火阶段的腔体压力，同时，所述下降阶段的氮气流量由所述第一恒定退火阶段的氮气流量线性递减至所述第二恒定退火阶段的氮气流量；所述上升阶段的腔体压力由所述第二恒定退火阶段的腔体压力线性递增至所述第一恒定退火阶段的腔体压力，同时，所述上升阶段的氮气流量由所述第二恒定退火阶段的氮气流量线性递增至所述第一恒定退火阶段的氮气流量。

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