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摘要：本实用新型提供了一种退膜槽，包括：基座、槽体和承载单元。基座内部设有第一空腔和第二空腔，在基座的侧壁上还设有循环泵。槽体设置在基座顶部，在槽体的底面上设有多个容纳孔和多个流通孔，且容纳孔和流通孔均匀第一空腔相连通。承载单元设置在槽体内部，包括承载架和两个隔离组件，每个隔离组件均包括多个隔离管，且每个隔离管均置于容纳孔内部。隔离管的底端与第二空腔相连通，顶端设有封堵板，且在隔离管的侧壁上设有多个导流孔。在两个隔离组件之间形成容纳间隙，承载架可升降的设置在容纳间隙内部，且在承载架的内侧壁上设有用于容纳基板的放置槽本实用新型所述的一种退膜槽，能避免基板发生损伤，同时提高基板的退膜效率。
主权项：1.一种退膜槽，其特征在于，包括：基座1，所述基座1内部设有第一空腔11和第二空腔12，且第二空腔12位于第一空腔11下方；在基座1的侧壁上还设有循环泵13，所述循环泵13的进液端与第一空腔11相连通，出液端与第二空腔12相连通；槽体2，所述槽体2设置在基座1顶部，在槽体2的底面上设有多个容纳孔21和多个流通孔22，且容纳孔21和流通孔22均匀第一空腔11相连通；承载单元，所述承载单元设置在槽体2内部，包括承载架和两个隔离组件，每个所述隔离组件均包括多个隔离管4，且每个隔离管4均置于容纳孔21内部；所述隔离管4的底端与第二空腔12相连通，顶端设有封堵板，且在隔离管4的侧壁上设有多个导流孔41；在两个隔离组件之间形成容纳间隙，所述承载架可升降的设置在容纳间隙内部，且在承载架的内侧壁上设有用于容纳基板8的放置槽31。
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百度查询： 天津美泰真空技术有限公司 一种退膜槽
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