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申请/专利权人：复旦大学;嘉善复旦研究院
申请日：2024-11-29
公开（公告）日：2024-12-31
公开（公告）号：CN119217561A
专利技术分类：.用非旋转式工具的，例如往复式工具[2006.01]
专利摘要：本发明提供了一种图像传感器制造装置、制造方法及图像传感器，涉及半导体制造技术领域，包括底座、线轴组件和切割线，底座的顶部固定有电机箱；线轴组件包括分别与电机箱输出端连接的放线轴、驱动轴、张紧结构、辅助轴和收线轴；线轴组件还包括导向轴，导向轴的底部焊接有能够使切割线的缠绕方向发生变化的转向部件；切割线绕经导向轴与辅助轴之间时形成水平切割段和倾斜切割段。本发明能够同时得到多个厚度连续增加的晶柱块，并能减少晶圆受到外力的影响程度，防止晶圆进行后端工艺的加工过程中晶圆发生折断或边缘翘曲的现象，有利于减小晶圆后端工艺的处理难度，保证晶圆出厂的良品率。
专利权项：1.一种图像传感器制造装置，其特征在于，包括：底座，所述底座的顶部固定有电机箱；线轴组件，所述线轴组件包括分别与所述电机箱输出端连接的放线轴、驱动轴、张紧结构、辅助轴和收线轴；所述线轴组件还包括导向轴，所述导向轴的底部焊接有能够使切割线的缠绕方向发生变化的转向部件；切割线，所述切割线绕经导向轴与辅助轴之间时形成水平切割段和倾斜切割段，倾斜切割段切割晶柱后形成具有斜面切口的晶柱块。
百度查询： 复旦大学 嘉善复旦研究院 图像传感器制造装置、制造方法及图像传感器
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