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申请/专利权人：上海隐冠半导体技术有限公司
申请日：2024-12-02
公开（公告）日：2024-12-31
公开（公告）号：CN119230474A
专利技术分类：...使用机械装置的，例如卡盘、夹具或夹子[2006.01]
专利摘要：本发明提供了一种微动台及具有其的运动系统，包括：旋转机构，旋转机构包括底座以及可转动地设置在底座上的旋转台；顶升机构，设置在旋转台上，顶升机构的顶升部可升降地设置在旋转台上；吸附件，设置在顶升部上。通过本发明提供的技术方案，能够解决现有技术中因采用固定设置的顶柱结构不利于整体微动台的垂向运动的稳定性的技术问题。
专利权项：1.一种微动台，其特征在于，包括：旋转机构（10），所述旋转机构（10）包括底座（11）以及可转动地设置在所述底座（11）上的旋转台（12）；顶升机构（20），设置在所述旋转台（12）上，所述顶升机构（20）的顶升部（21）可升降地设置在所述旋转台（12）上；吸附件（30），设置在所述顶升部（21）上；所述顶升机构（20）包括：连接件（22），所述顶升部（21）设置在所述连接件（22）的一侧；驱动件（23），设置在所述连接件（22）的另一侧，所述驱动件（23）的驱动端可升降地设置，所述驱动件（23）的驱动端与所述连接件（22）驱动连接；导向件（24），与所述驱动件（23）间隔设置在所述连接件（22）的另一侧，所述导向件（24）沿所述驱动端的升降方向延伸，所述旋转台（12）上设置有与所述导向件（24）相适配的导向孔，所述导向件（24）可升降地设置在所述导向孔内；所述旋转台（12）具有贯通所述旋转台（12）的两侧的安装孔，所述微动台还包括导向套筒（40），所述导向套筒（40）安装在所述安装孔内，所述导向套筒（40）具有所述导向孔；其中，所述导向件（24）上设置有限位凸起（241），所述限位凸起（241）用于与所述导向套筒（40）的端部进行限位抵接；和或，所述微动台还包括止挡件（50），所述止挡件（50）设置在所述旋转台（12）的下方，所述止挡件（50）的至少部分设置在所述安装孔的端部并与所述导向套筒（40）的至少部分相对设置。
百度查询： 上海隐冠半导体技术有限公司 微动台及具有其的运动系统
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