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申请/专利权人:上海隐冠半导体技术有限公司
申请日:2024-12-06
公开(公告)日:2025-01-03
公开(公告)号:CN119245517A
专利技术分类:
专利摘要:本申请提供了一种测试台及测量方法,涉及精密设备技术领域。本申请涉及的测试台包括平台模块;运动模块,设于平台模块上,用于承接物料并携物料运动,运动模块包括载台、与载台相连接的物料吸附装置;物料调整模块,设于平台模块上,用于承接物料并调整物料的位置;上下料辅助传输模块,设于平台模块上,用于使物料调整模块能够于平台模块上运动并处于第一检测工位;第一检测模块,设于第一检测工位,能够沿与第一方向垂直的垂向方向运动,用于获取物料在物料调整模块的第一位置;第二检测模块,设于第二检测工位,能够沿垂向方向运动,用于获取物料吸附装置携物料运动前的物料的第二位置和或运动模块携物料运动后的物料的第三位置。
专利权项:1.一种测试台,其特征在于,包括:平台模块;运动模块,设于所述平台模块上,用于承接物料并携物料运动,所述运动模块包括能够于所述平台模块上沿第一方向运动并处于第一检测工位或第二检测工位的载台、与所述载台相连接的用于承载物料的物料吸附装置;物料调整模块,设于所述平台模块上,用于承接物料并调整物料的位置;上下料辅助传输模块,设于所述平台模块上,用于使所述物料调整模块能够于所述平台模块上运动并处于所述第一检测工位;第一检测模块,设于所述第一检测工位,能够沿与所述第一方向垂直的垂向方向运动,用于获取物料在所述物料调整模块的第一位置;第二检测模块,设于所述第二检测工位,能够沿所述垂向方向运动,用于获取所述物料吸附装置携物料运动前的物料的第二位置和或所述运动模块携物料运动后的物料的第三位置。
百度查询: 上海隐冠半导体技术有限公司 一种测试台及测量方法
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