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申请/专利权人：株式会社岛津制作所
申请日：2024-06-18
公开（公告）日：2025-01-14
公开（公告）号：CN119308882A
专利技术分类：...磁的；电磁的[2006.01]
专利摘要：本发明提供一种真空泵及调整方法，无论从框体的侧面还是从上表面，均能够对静止侧磁石的位置进行调整。真空泵包括：收容转子的框体部、磁性轴承、以及磁石螺母。磁性轴承具有：第一永久磁石，配置于磁铁支架部的周围；以及第二永久磁石，与第一永久磁石在径向上相向且配置于转子。磁石螺母具有主体部、以及突出部。主体部通过相对于磁铁支架部旋转而对第一永久磁石相对于第二永久磁石的位置进行调整。突出部从主体部的上表面突出，在外周侧具有被抵接面，所述被抵接面能够被使主体部从主体部的上表面侧旋转的第一夹具抵接，且能够被使主体部从主体部的外周侧旋转的第二夹具抵接。
专利权项：1.一种真空泵，其特征在于，包括：转子，能够旋转；框体部，收容所述转子；磁性轴承，具有第一磁石以及第二磁石，所述第一磁石配置于所述框体部上所固定的磁铁支架部的周围，所述第二磁石与所述第一磁石在径向上相向且配置于所述转子；以及调整构件，对所述第一磁石相对于所述第二磁石的位置进行调整，其中，所述调整构件具有：主体部，在内周面具有与形成于所述磁铁支架部的周围的第一螺纹形状嵌合的第二螺纹形状，且通过相对于所述磁铁支架部旋转而向沿着所述转子的旋转轴的方向移动，对所述第一磁石相对于所述第二磁石的位置进行调整；以及突出部，从所述主体部的上表面突出，所述突出部在所述主体部的外周侧具有被抵接面，所述被抵接面能够被使所述主体部从所述主体部的上表面侧旋转的第一夹具抵接，且能够被使所述主体部从所述主体部的侧面侧旋转的第二夹具抵接。
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