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申请/专利权人：新唐科技股份有限公司
申请日：2023-12-27
公开（公告）日：2025-01-17
公开（公告）号：CN119322093A
专利技术分类：..通过测试电阻[2006.01]
专利摘要：一种气体感测装置，包括基板、第一晶体管、第二晶体管、第一金属电极层、第二金属电极层、第一感测材料层、指叉状电极以及第二感测材料层。第一晶体管以及第二晶体管形成于基板中。第一金属电极层、第二金属电极层以及第一感测材料层形成于第一晶体管以及第二晶体管之上，第一金属电极层电连接至第一晶体管的源极端以及第二晶体管的漏极端，第一感测材料层位于第一金属电极层以及第二金属电极层之上。指叉状电极形成于第一金属电极层、第二金属电极层以及第一感测材料层之上。第二感测材料层形成于指叉状电极之上。
专利权项：1.一种气体感测装置，其特征在于，包括：一基板；一第一晶体管，形成于上述基板中，且包括一第一栅极端、一第一漏极端以及一第一源极端；一第二晶体管，形成于上述基板中，且包括一第二栅极端、一第二漏极端以及一第二源极端；一第一金属电极层，形成于上述第一晶体管以及上述第二晶体管之上且电连接至上述第一源极端以及上述第二漏极端；一第二金属电极层，形成于上述第一晶体管以及上述第二晶体管之上；一第一感测材料层，形成于上述第一金属电极层以及上述第二金属电极层之上且与上述第一金属电极层以及上述第二金属电极层电连接；一指叉状电极，形成于上述第一金属电极层、上述第二金属电极层以及上述第一感测材料层之上；以及一第二感测材料层，形成于上述指叉状电极之上。
百度查询： 新唐科技股份有限公司 气体感测装置
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