龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日：2023-07-17
公开（公告）日：2025-01-17
公开（公告）号：CN119324146A
专利技术分类：.充气放电管（放电加热的入H05B）[2006.01]
专利摘要：本发明提供一种线圈连接件、电极线圈连接结构及半导体工艺设备，线圈连接件包括：支臂，支臂为多个；均流部，均流部具有相对设置的第一端和第二端，支臂的第二端连接在均流部的第二端上；均流部还具有外周壁，均流部的外周壁自均流部的第一端延伸至第二端，所有支臂沿均流部的外周壁周向间隔分布，所述均流部用于分散所述射频源输出的电流，以使所述电流均匀分流至所述支臂。本发明的线圈连接件通过设置均流部，使均流部与各个支臂间的距离基本相同，从而使电流可以均匀地分流至各个支臂上，提高电极线圈电流部分的均匀性。
专利权项：1.一种线圈连接件，用于连接射频源与电极线圈30，其特征在于，所述线圈连接件10包括：支臂11，所述支臂11为多个，每个所述支臂11的第一端用于与所述电极线圈30电连接；均流部12，所述均流部12具有相对设置的第一端和第二端，所述均流部12的第一端用于与所述射频源电连接，所述支臂11的第二端均连接在所述均流部12的第二端上；所述均流部12还具有外周壁，所有所述支臂11沿所述均流部12的外周壁周向间隔分布，所述均流部12用于分散所述射频源输出的电流，以使所述电流均匀分流至所述支臂11。
百度查询： 北京北方华创微电子装备有限公司 线圈连接件、电极线圈连接结构及半导体工艺设备
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号