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申请/专利权人：无锡华润上华科技有限公司
申请日：2023-07-17
公开（公告）日：2025-01-17
公开（公告）号：CN119324158A
专利技术分类：.在制造或处理过程中的测试或测量[2006.01]
专利摘要：本发明涉及一种表面颗粒缺陷的检测及去除方法、计算机可读存储介质，所述方法包括：缺陷检测设备获取被测晶圆表面的灰阶特征；将所述灰阶特征，和获取所述灰阶特征时所述被测晶圆所在的工艺层次输入表面缺陷识别模型，进行表面颗粒缺陷识别；颗粒去除机构移动至识别出的表面颗粒缺陷对应的位置，并进行颗粒去除处理；通过所述缺陷检测设备对所述处理后的被测晶圆进行检测，判断所述识别出的表面颗粒缺陷是否被去除；所述表面缺陷识别模型根据所述判断的结果进行再学习。本发明能够提高产品的生产效率，并提升产品良率以及减少返工对于产品流通的影响，降低工艺人员的工作负荷。
专利权项：1.一种表面颗粒缺陷的检测及去除方法，包括：缺陷检测设备获取被测晶圆所在的工艺层次，以及获取所述工艺层次的被测晶圆表面的灰阶特征；将所述工艺层次和所述灰阶特征输入表面缺陷识别模型，进行表面颗粒缺陷识别；颗粒去除机构移动至识别出的表面颗粒缺陷对应的位置，并进行颗粒去除处理；通过所述缺陷检测设备对所述处理后的被测晶圆进行检测，判断所述识别出的表面颗粒缺陷是否被去除；所述表面缺陷识别模型根据所述判断的结果进行再学习。
百度查询： 无锡华润上华科技有限公司 表面颗粒缺陷的检测及去除方法、计算机可读存储介质
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