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申请/专利权人：上海华力集成电路制造有限公司
申请日：2023-07-11
公开（公告）日：2025-01-17
公开（公告）号：CN119323520A
专利技术分类：.利用非空间域滤波的[2006.01]
专利摘要：本发明提供一种提高CDSEM图像质量的方法，读取不同格式的CDSEM图像以及对不同格式的CDSEM图像进行格式之间的相互转换；选择小波基函数；设定小波分解层数N；设定阈值函数和与小波分解层数N分别对应的阈值大小；小波分解以获取不同层的尺度函数系数和不同层的小波系数；阈值处理包括对不同层的小波系数进行阈值处理，得到处理后的各层小波系数；多维小波重构包括：利用尺度函数系数和处理后的各层小波系数，进行多维小波重构，获得去噪后的CDSEM图像；对去噪后的CDSEM图像进行图像质量评价。
专利权项：1.一种提高CDSEM图像质量的方法，其特征在于，至少包括：步骤一、读取CDSEM图像，其中包括：读取不同格式的CDSEM图像以及对不同格式的CDSEM图像进行格式之间的相互转换；步骤二、设定小波参数，其中包括：选择小波基函数；设定小波分解层数N；设定阈值函数和与所述小波分解层数N分别对应的阈值大小；步骤三、小波分解、阈值处理以及多维小波重构；其中，小波分解以获取不同层的尺度函数系数和不同层的小波系数；所述阈值处理包括对所述不同层的小波系数进行阈值处理，得到处理后的各层小波系数；所述多维小波重构包括：利用尺度函数系数和处理后的各层小波系数，进行多维小波重构，获得去噪后的CDSEM图像；步骤四、对去噪后的CDSEM图像进行图像质量评价。
百度查询： 上海华力集成电路制造有限公司 一种提高CDSEM图像质量的方法
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