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申请/专利权人：ASML荷兰有限公司
申请日：2023-05-08
公开（公告）日：2025-01-17
公开（公告）号：CN119325622A
专利技术分类：
专利摘要：用于减少检查图像中的充电伪影的系统和方法包括获取检查图像集，其中该检查图像集中的每个检查图像都包括充电伪影；以及使用该检查图像集作为输入来训练机器学习模型，其中机器学习模型输出该检查图像集的解耦特征集。
专利权项：1.一种系统，包括：图像检查装置，被配置为扫描样品并且生成在所述样品上制造的集成电路的检查图像；以及控制器，包括电路系统，所述电路系统被配置为：生成模拟检查图像集，其中所述模拟检查图像集中的每一者都不包括充电伪影；以及通过将基于物理的模型应用于所述模拟检查图像集来生成检查图像集；使用所述检查图像集作为输入来训练机器学习模型，其中所述机器学习模型输出所述检查图像集的解耦特征集；以及将经训练的所述机器学习模型应用于所述检查图像以生成输出检查图像，其中所述输出检查图像包括比所述检查图像少的充电伪影。
百度查询： ASML荷兰有限公司 减少检查图像中的充电伪影的方法和系统
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