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申请/专利权人：阿合斯印前有限公司
申请日：2023-04-04
公开（公告）日：2025-01-17
公开（公告）号：CN119325576A
专利技术分类：.曝光及其设备（复制用照相印制设备入G03B27/00）[2006.01]
专利摘要：一种用于对掩模层成像的方法，包括以下步骤：读取具有至少C1+C2个像素的序列的成像数据；在第一时刻，根据所述成像数据，使用一组C1个第一成像光束基本同时地对所述序列的第一组C1个像素成像；在第二时刻，根据所述成像数据，使用一组C2个第二成像光束基本同时地对所述序列的第二组C2个像素成像；重复读取成像数据，对至少C1+C2个像素的下一序列，在第一时刻使用一组C1个第一成像光束进行成像以及在第二时刻使用一组C2个第二成像光束进行成像。
专利权项：1.一种用于对掩模层成像的方法，包括以下步骤：提供掩模层；提供彼此相邻布置的多个至少C1+C2个成像光束，所述多个成像光束包括第一组C1个成像光束L1和第二组C2个成像光束L2；读取具有至少C1+C2个像素的序列的成像数据，C1和C2为大于或等于1的整数；在第一时刻，根据读取的成像数据，使用一组C1个第一成像光束L1基本同时地对所述序列的第一组C1个像素成像；在第二时刻，根据读取的成像数据，使用一组C2个第二成像光束L2基本同时地对所述序列的第二组C2个像素成像；可选地，在一个或多个后续时刻，根据读取的成像数据，使用后续组成像光束L3基本同时地对后续组像素成像，后续组的所述像素不同于第一组的像素和第二组的像素；对于至少C1+C2个像素的下一序列，重复读取成像数据，在第一时刻使用一组C1个第一成像光束L1进行成像，在第二时刻使用一组C2个第二成像光束L2进行成像，并且可选地在一个或多个后续时刻使用后续组成像光束L3进行成像。
百度查询： 阿合斯印前有限公司 用于对掩模层成像的方法及相关成像系统
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