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申请/专利权人：常州大学
申请日：2024-11-01
公开（公告）日：2025-01-21
公开（公告）号：CN119342917A
专利技术分类：
专利摘要：本发明涉及图像传感装置技术领域，尤其是一种搭载压阻传感功能的屏蔽栅型图像传感装置及其制备方法。搭载压阻传感功能的屏蔽栅型图像传感装置，包括：多个像素，每个像素包括红色图像传感子像素R、绿色图像传感子像素G、蓝色图像传感子像素B和压力传感子像素S；驱动背板，驱动背板上设有若干规则排列的过孔，驱动背板承载多个像素，并分别驱动红色图像传感子像素R、绿色图像传感子像素G和发光子像素B接收图像信息以及驱动压力传感子像素S接收压力信息。本发明使用半导体工艺制备的屏蔽栅型传感模组，可以高效率地接收外界压力和图像信息，为交互式单芯片集成提供了切实可行的方案。
专利权项：1.一种搭载压阻传感功能的屏蔽栅型图像传感装置，其特征在于，包括：多个像素，每个所述像素包括红色图像传感子像素R、绿色图像传感子像素G、蓝色图像传感子像素B和压力传感子像素S；驱动背板（1），所述驱动背板（1）上设有若干规则排列的过孔（2），所述红色图像传感子像素R、绿色图像传感子像素G、蓝色图像传感子像素B或压力传感子像素S覆盖至少一个过孔（2），所述驱动背板（1）承载多个像素，并分别驱动红色图像传感子像素R、绿色图像传感子像素G和发光子像素B接收图像信息以及驱动压力传感子像素S接收压力信息；所述红色图像传感子像素R、绿色图像传感子像素G、蓝色图像传感子像素B和压力传感子像素S均包括阳极（3）、半导体器件（4）和ITO薄膜层（5），所述阳极（3）设置在驱动背板（1）上，且覆盖至少一个过孔（2），所述半导体器件（4）位于阳极（3）远离驱动背板（1）的一侧，所述ITO薄膜层（5）位于所述半导体器件（4）远离驱动背板（1）的一侧；所述半导体器件（4）包括P型集电区（41）、N型缓冲层（42）、N型漂移层（43）、P型基区（44）、栅极（45）、金属屏蔽层（46）、N+区（47）和发射极区（48）。
百度查询： 常州大学 搭载压阻传感功能的屏蔽栅型图像传感装置及其制备方法
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